机械真空泵的分类

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　　真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的设备。随着真空应用的发展，已发展出很多种真空泵，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10的-12次方Pa以上的超高真空范围。
　　由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组形式应用。
　　凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：
　　一、变容积真空泵
　　它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气达到抽气目的。气体在排出泵腔前会被压缩。这种泵主要有活塞真式空泵、薄膜式真空泵、旋片式真空泵。
　　1、活塞式真空泵
　　活塞式真空泵利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
　　2、旋片真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
　　1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
　　2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环真空泵或油环式真空泵。
　　3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
　　4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
　　3、薄膜式真空泵
　　它是传动机构带动薄膜往复运动，使泵腔容积周期性变化从而吸入、排出气体。薄膜真空泵避免了活塞式真空泵活塞磨损、污染输送介质的缺点，制造成本低，便于设计生产小排量的真空泵。无污染、自吸能力强、小巧轻便的微型薄膜泵在仪器仪表行业得到了广泛运用。微型的薄膜真空泵通常也简称为微型真空泵。以“气海”泵为代表的我国高端微型真空泵质量已经可以与国际名牌产品媲美。最新的使用无刷电机的“气海”调速泵可利用PWM(脉宽调制)线灵活地调节流量，能输出转速反馈信号，突破性地提升了泵的智能化水平。
　　二、动量传输泵
　　它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
　　1、分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。分为牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵。
　　2、喷射真空泵：它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。又可分成液体喷射真空泵、气体喷射真空泵、蒸气喷射真空泵。
　　3、扩散泵：以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为自净化扩散泵、分馏式扩散泵。
　　4、扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
　　5、离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
　　MJC-2013-05