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声振论坛»论坛 › 基础理论 › 控制、可靠性及优化 › 请教各位大虾有关气浮工作台的振动控制

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[振动控制] 请教各位大虾有关气浮工作台的振动控制

发表于 2010-9-3 16:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

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有以下几个问题：
1.我知道目前精密工作台主要有利用柔性链接，或者气浮轴承，不知道还有没有其他方式的
2有关气浮轴承的供气反馈系统

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