关于mems加速度传感器

xiajun

随着消费类电子的火爆，最近几年mems加速度传感器应用非常广泛。不知道这种类型的可否用在旋转机械测振？开贴讨论，欢迎大家回复！

westrongmc

mems加速度计以电容性、压阻式原理的应用较多；
但也有其优缺点，典型的优点是其直流响应，但它们的频带范围有限，动态范围有限。如电容性加速度计的频带通常低于1kHz，与压电加速度计比，其相移及本地噪声大，而压阻式加速度的灵敏度较低。

另外就是看价格，在我们的振动领域应用的mems加速度计的价格要比常规的压电加速度计贵，国外的应该在6000～7000元；飞思卡尔或者AD的mems加速度计，很便宜，20块钱，这类传感器，一般不给频响特性曲线，精度应该不高，慎重使用。

从应用方便性看，mems加速度计需要外供电，有直流偏移。不如IEPE加速度用的方便，因为现在的采集系统一般集成有恒流源适调电路，可直接接入采集系统。

如果用在旋转机械测振，要看其频率范围是否满足要求，对于低转速的，如水轮机等，应该可以用。而对于有高速齿轮啮合的场合，关心的频率范围可能高于10kHz，用mems加速度计，则可能其高频上限不够。



补充内容 (2012-11-5 08:45):
mems加速度计还有静电力平衡式和石英振梁式。这两种用的较少。

xiajun

主要就是水轮机，风机的测振。现在担心的是分辨率是否够，很多振动很小，速度只有几个mm/s

westrongmc

xiajun 发表于 2012-11-4 20:30

                               
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主要就是水轮机，风机的测振。现在担心的是分辨率是否够，很多振动很小，速度只有几个mm/s

看其频率范围，另外这个速度量级几个mm/s对应的加速度是什么量级。

如频率范围不高，可选用电容性加速度计，灵敏度现在可以做到1～4V/g量级【如Kistler的K-beam8315A】；
但灵敏度高，其高频上限则低；灵敏度低，则高频上限高些，也一般不超过1kHz。




价格来讲，上面这款Kister的电容性加速度计不便宜，价格应该在700～800美元。

xiajun

看其频率范围，另外这个速度量级几个mm/s对应的加速度是什么量级。

频率也不是太高，20Hz以下

acmest

推荐频率可调的，1Hz-1600Hz，量程+/-15G的微型三轴数据记录仪（MSR165）即可。采用的就是MEMS的压电加速度计，瑞士人用matlab的某些算法，直接解决了滤波等相关问题。价格也不贵，直接贴在旋转的面上即可，风电叶片、机器转子都可直接安装上去。