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关于mems加速度传感器

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发表于 2012-11-3 21:35 | 显示全部楼层 |阅读模式

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随着消费类电子的火爆,最近几年mems加速度传感器应用非常广泛。不知道这种类型的可否用在旋转机械测振?开贴讨论,欢迎大家回复!
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发表于 2012-11-4 19:26 | 显示全部楼层
本帖最后由 westrongmc 于 2012-11-4 19:45 编辑

mems加速度计以电容性、压阻式原理的应用较多;
但也有其优缺点,典型的优点是其直流响应,但它们的频带范围有限,动态范围有限。如电容性加速度计的频带通常低于1kHz,与压电加速度计比,其相移及本地噪声大,而压阻式加速度的灵敏度较低。

另外就是看价格,在我们的振动领域应用的mems加速度计的价格要比常规的压电加速度计贵,国外的应该在6000~7000元;飞思卡尔或者AD的mems加速度计,很便宜,20块钱,这类传感器,一般不给频响特性曲线,精度应该不高,慎重使用。

从应用方便性看,mems加速度计需要外供电,有直流偏移。不如IEPE加速度用的方便,因为现在的采集系统一般集成有恒流源适调电路,可直接接入采集系统。

如果用在旋转机械测振,要看其频率范围是否满足要求,对于低转速的,如水轮机等,应该可以用。而对于有高速齿轮啮合的场合,关心的频率范围可能高于10kHz,用mems加速度计,则可能其高频上限不够。



补充内容 (2012-11-5 08:45):
mems加速度计还有静电力平衡式和石英振梁式。这两种用的较少。
 楼主| 发表于 2012-11-4 20:30 | 显示全部楼层
主要就是水轮机,风机的测振。现在担心的是分辨率是否够,很多振动很小,速度只有几个mm/s
发表于 2012-11-5 08:37 | 显示全部楼层

看其频率范围,另外这个速度量级几个mm/s对应的加速度是什么量级。

如频率范围不高,可选用电容性加速度计,灵敏度现在可以做到1~4V/g量级【如Kistler的K-beam8315A】;
但灵敏度高,其高频上限则低;灵敏度低,则高频上限高些,也一般不超过1kHz。


2012-11-05 8-15-24.png

价格来讲,上面这款Kister的电容性加速度计不便宜,价格应该在700~800美元。
 楼主| 发表于 2012-11-5 10:07 | 显示全部楼层
看其频率范围,另外这个速度量级几个mm/s对应的加速度是什么量级。

频率也不是太高,20Hz以下
发表于 2012-11-6 07:28 | 显示全部楼层
推荐频率可调的,1Hz-1600Hz,量程+/-15G的微型三轴数据记录仪(MSR165)即可。采用的就是MEMS的压电加速度计,瑞士人用matlab的某些算法,直接解决了滤波等相关问题。价格也不贵,直接贴在旋转的面上即可,风电叶片、机器转子都可直接安装上去。
机械工业.jpg
环境能源.jpg
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