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[结构分析] 新手求助:关于使用ansys对微结构的分析(力学和热应力分析)

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发表于 2007-8-2 17:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

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大家好,我是一硕士研究生,现阶段在做红外器件微桥结构的设计,微桥结构一般都是10e-6m到45e-6m见方。厚度仅为0.1微米到几个微米,材料是热敏电阻。通过MEMS工艺加工而成,用于探测红外辐射,现在我主要想通过ansys对其进行力学仿真和热应力分析。
下面有不少问题困惑我:
1.建模:比如10乘10微米,1微米厚的探测像元,我在输入坐标时要不要都写成10e-6、1e-6?还是直接写成10、1?
2.ansys有专门的针对微结构进行分析的方法吗?如果有,对微结构和宏观结的分析结果有什么不同吗?
3.力学分析从哪几个方面着手?我现在只能从自身重力上进行分析,还是微结构自身重力影响很大的。施加荷载的时候,我暂时只知道加在方块的正中心,应该有更科学的施加荷载的方法吧?
4.热应力分析:没有有可能在整个方块面上施加一定的功率(是由红外辐射引起的热量),然后观察其应力分布?我看到的书本,一般都是温度的变化,没有能适合我的分析:比如初始温度是30度,然后升到40度这样的例子;或者是被分析的物体两端有温度差,再进行分析。
5.针对以上问题,有什么好的书本或者参考资料呢?请各位大侠帮忙

毕竟刚开始用ansys,自己只是照着书本进行一些简单的仿真,今天百度到这个论坛,人气好像很旺,尤其是ansys版。今后的工作我也有要大量用到ansys,还希望各位多多关照。小弟在此有礼了:loveliness:

[ 本帖最后由 xuruikl 于 2007-8-3 19:44 编辑 ]
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 楼主| 发表于 2007-8-3 19:36 | 显示全部楼层
等人指点~~
发表于 2007-8-4 10:21 | 显示全部楼层

回复 #1 zhugeyufu 的帖子

1.单位制只要统一即可,不过输入为1比较好,避免误差大

4.辐射热源可以啊
 楼主| 发表于 2007-8-6 09:22 | 显示全部楼层
谢谢楼上答复,另外,我是加的热流,不过加不上。。
 楼主| 发表于 2007-8-6 14:58 | 显示全部楼层
是不是建模的时候模型选择有问题?
热分析应该选thermal的哪种类型?
发表于 2007-8-10 10:54 | 显示全部楼层
不知道ANSYS在处理微观结构精度高不高,没做过
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