[求助]高精密定位平台隔振器选型

哀鸣之犬

小弟现给一台XYZT精密定位平台搭配相关的隔振器，平台带大理石基座总重600kg。xy轴运动周期为0.5s，转轴T为5rps。想问下各位前辈选择隔振器的一个流程？我应该计算那些东西]

[ 本帖最后由 xmwhit 于 2008-7-31 21:01 编辑 ]

szjsckj

采用空气隔振器\空气固有频率低\防振效果佳,为目前大多数精密设备采用.

wanyeqing2003

做精密仪器基础设计需要考虑的因素有：
1、设备对振动的要求，如，振动幅值限制，设备频率特性等；
2、了解环境振动条件，如，周围有没有大的振源，场地的振动频率范围，振幅大小等；
3、场地地质条件，如，地基承载力大小，土质情况等；
4、周围建筑物布置，如，所在房屋的大小，墙柱基础的布置等；
5、选取隔振方案，如，设备隔振，还是基础下隔振等；
6、确定隔振参数，如，隔振的固有频率，阻尼参数等；
7、选取隔振器，可以使用，弹簧阻尼隔振器，空气弹簧，橡胶垫等。

如果方便的话，请把有关参数资料告诉我，我来帮你分析一下。

哀鸣之犬

1.设备固有频率特性？说实话，不懂.是指其固有频率吗？振动幅值限制指得是什么？
2.周围环境的振动我也没法给出，用在FAB厂的。
3.
4.
5.采用设备隔振
6.
7。最出选择了newport的橡胶隔振，但是其承载不够，只能重新选择。IDE or TMC。
设备的参数，二楼想知道什么？
行程xy380*320mm，z10mm。xy 100mm in 0.3s settling to 0.1um.z 200um in 0.1s settling to 10nm.
其他的xy重复性±0.5um，z 重复性0.05 um

哀鸣之犬

谢谢，请参见帖子！希望可以和大家讨论下。

renwang

:@)
问题汇总：
1、机器的类型？Kind of machine？－精密定位平台
2、机器有多重？Weight of machine？－600kg
3、运动部件参数？速度、加速度acceleration、velocity。－转轴T为5rps、xy轴运动周期为0.5s，转轴T为5rps
4、几个支脚？How many feets？－默认四个
5、自由放置还是固定在地板？How should the machine stand？free or fixed with ground？－自由放置
6、尺寸－看详细图纸
7、对振动的要求。

采用气浮隔振。
选用空气弹簧Air-spring：
四个或者三个德国BILZ隔振技术公司的空气弹簧BiAir系列。由载荷选型（选型手册有详细参数）。
配一套控制系统：
三个位移传感器，一套气路管线。建议选用机械气动水平控制系统或者电控气动水平控制系统。

这个方案比较合理。
欢迎来电来函021－62416635－21张
hansen@renwang.cn:@)

renwang

下载PDF选型手册:@) http://www.bilz-schwingungstechn ... ane_Air-Springs.pdf

登陆网站：
http://www.renwang.cn/bilz/products/biair.htm

amoze

很正确, 也很完整.

马社

目前最好的：空气弹簧＋主动阻尼器